气氛检测治具及方法

摘要

一种气氛检测治具包含一基板、一环形支撑墙、一外盖、一管路及一破坏器。该环形支撑墙系配置于该基板上。该外盖系配置于该环形支撑墙上，其中该外盖、该环形支撑墙及该基板形成了一封闭空间，该封闭空间定义了一内部及一外界，该内部包含一气氛。该管路包含一管壁，该管路系由该封闭空间之内部延伸至该封闭空间之外界，并将该封闭空间之内部与该封闭空间之外界隔离。该破坏器系用以破坏该管壁，藉此使该封闭空间之外界经由该管路连通于该封闭空间内部之气氛。