发明名称 双位元存取快闪记忆体胞结构及其制造方法
摘要 一种双位元存取快闪记忆体胞结构,包含有一半导体基底;一闸极氧化层;一T型闸极,设于该闸极氧化层上;一第一电荷储存层,设于该T型闸极的一侧,且位于该T型闸极下方;一第二电荷储存层,设于该T型闸极的另一侧,且位于该T型闸极下方,其中该第一电荷储存层与该第二电荷储存层被该T型闸极的底部以及该闸极氧化层所隔开;一绝缘层,设于该T型闸极与该闸极氧化层之间;一第一汲极/源极掺杂区,设于该T型闸极一侧的该半导体基底内;以及一第二汲极/源极掺杂区,设于该T型闸极另一侧的该半导体基底内。
申请公布号 TW200843121 申请公布日期 2008.11.01
申请号 TW096114415 申请日期 2007.04.24
申请人 南亚科技股份有限公司 发明人 张明成;廖伟明;王哲麒;黄建章
分类号 H01L29/792(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L29/792(2006.01)
代理机构 代理人 许锺迪
主权项
地址 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号