以矽聚合物为主之抗反射涂料组合物

摘要

本发明系关于一种包含矽聚合物之抗反射涂料组合物，其能够在一层光阻剂之下形成一交联涂层，其中该矽聚合物包含至少一个具有以下结构1之单元：#P 097101038P01.bmp其中R#sB!1#eB!系选自C#sB!l#eB!-C#sB!4#eB!烷基。本发明亦系关于一种用于使此组合物成像之方法。