| 摘要 |
Un aparato para detectar partículas en un gas que contiene partículas en un sistema de distribución de gas que contiene dicho gas, que comprende: un conducto de distribución de gas para contener dicho gas; y un contador de núcleos de condensación (20) en comunicación fluida con dicho conducto de distribución de gas, caracterizado por las siguientes características: el conducto de distribución de gas y el contador de núcleos de condensación están adaptados para resistir un gas presurizado que tiene una presión de hasta aproximadamente 414000 Pa sobre la presión atmosférica (60 psig); el contador de núcleos de condensación está conectado a dicho conducto de distribución de gas de tal modo que recibe una corriente de gas presurizado a una presión sustancialmente igual a la presión del gas presurizado en el conducto de distribución de gas; y el contador de núcleos de condensación está fabricado de materiales resistentes a la corrosión y a la reacción con el gas presurizado seleccionado del grupo constituido por SiCl 4, PH 3, B 2H 6, AsH 3, SiF 4, Si 2H 6, NH 3, BCl 3, BF 3, Cl 2, H 2, HBr, HCl, HF, NF 3, N 2O, O 2, SiH 4, WF 6, N 2, Ar, He, CF 4, CHF 3, C 2F 6 y SF 6 y mezclas de los mismos.
|
