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发明名称
THERMALLY INDUCED REFLECTIVITY SWITCH FOR LASER THERMAL PROCESSING
摘要
申请公布号
KR100866295(B1)
申请公布日期
2008.10.31
申请号
KR20027015430
申请日期
2001.04.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;B23K26/18;H01L21/265;H01L21/268
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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