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经营范围
发明名称
Wheel used for polishing edge part of semiconductor wafer
摘要
申请公布号
KR100866421(B1)
申请公布日期
2008.10.31
申请号
KR20060138709
申请日期
2006.12.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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