| 摘要 |
Es wird beschrieben eine Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlung, mit einer Laserquelle (1), die ein Bearbeitungsstrahlenbündel (5) abgibt, und einem Strahlengang zur Fokussierung und zum Scannen, der das Bearbeitungsstrahlenbündel (5) in ein Bearbeitungsvolumen fokussiert und die Lage des Fokus (15) darin verstellt, wobei zur Erzeugung mehrerer Fokusse (15a, b) im Bearbeitungsvolumen eine Strahlteilervorrichtung (8) vorgesehen ist, die das Bearbeitungsstrahlenbündel (5) in ein Primär- (10) und mindestens ein Sekundärstrahlenbündel (9) aufteilt und bei der Aufteilung den Querschnitt des Strahlenbündels in einer Pupillenebene (7) des Strahlenganges unverändert läßt und zwischen Primär- und Sekundärstrahlenbündel (10, 9) einen Separationswinkel (11) einführt, wodurch diese Bündel (10, 9) sich im Strahlengang in um den Separationswinkel (11) abweichende Richtungen ausbreiten.
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