| 发明名称 |
Dielektrische Vorrichtung und assoziierte Verfahren |
| 摘要 |
Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird ein dielektrisches Material mit amorpher Phase selektiv über einem Substrat ausgebildet. Das dielektrische Material mit amorpher Phase wird dann in ein dielektrisches Material mit kristalliner Phase umgewandelt.
|
| 申请公布号 |
DE102008000373(A1) |
申请公布日期 |
2008.10.30 |
| 申请号 |
DE200810000373 |
申请日期 |
2008.02.21 |
| 申请人 |
IMEC VZW.;INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
JASCHKE, GERT;STAPELMANN, CHRIS;TILKE, ARMIN |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/283;H01L21/32;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
