IONENSTRAHLEINGANGSWINKELDETEKTOR FÜR IONENIMPLANTATIONSSYSTEME,申请号DE200460016639T-传众专利搜索

发明名称	IONENSTRAHLEINGANGSWINKELDETEKTOR FÜR IONENIMPLANTATIONSSYSTEME
摘要
申请公布号	DE602004016639(D1)	申请公布日期	2008.10.30
申请号	DE200460016639T	申请日期	2004.03.31
申请人	AXCELIS TECHNOLOGIES INC.	发明人	REESE, RONALD;GRAF, MICHAEL;PARRILL, THOMAS;FREER, BRIAN
分类号	H01J37/317;G01N21/00;G01N23/00;G21K5/10;H01J37/244;H01J37/304;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/66	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
主权项
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