摘要 |
Ein Bildsensor umfasst eine über einem Halbleitersubstrat ausgebildete Zwischendielektrikumschicht; ein über der Zwischendielektrikumschicht ausgebildetes Farbfilter-Array; eine über dem Farbfilter ausgebildete Planarisierungsschicht; und ein Mikrolinsen-Array mit einer durchgängigen, lückenlosen Form, das über der Planarisierungsschicht ausgebildet ist und räumlich dem Farbfilter-Array entspricht. Das Mikrolinsen-Array ist aus einer ersten Dielektrikumschicht und einer über der ersten Dielektrikumschicht ausgebildeten zweiten Dielektrikumschicht gebildet. |