Geschichtetes piezoelektrisches Element mit Haftschichten mit geringer Dicke und hoher Haftfestigkeit

摘要

Ein erfindungsgemäßes geschichtetes piezoelektrisches Element beinhaltet eine Vielzahl von Schichteinheiten und eine Vielzahl von Haftschichten. Die Schichteinheiten sind zusammengestapelt. Jede der Schichteinheiten beinhaltet eine Vielzahl von piezoelektrischen Keramikschichten und eine Vielzahl von internen Elektrodenschichten, die mit den piezoehtung der Schichteinheit abwechselnd geschichtet sind. Jede der Haftschichten ist zwischen zwei benachbarten der Schichteinheiten zum Verbinden der beiden Schichteinheiten miteinander ausgebildet. Zudem weist jede der Haftschichten eine Dicke von 1 µm oder weniger und eine Haftfestigkeit von 1,3 MPa oder mehr auf.