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Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Ausbildung von Beschichtungen auf Substraten im Vakuum, bei der ein Plasma mittels elektrischer Bogenentladung an mindestens einem als Kathode geschalteten Target gebildet und die Bogenentladung zwischen einer Anode und dem Target mittels eines auslenkbaren fokussierten Laserstrahls, der auf die Oberfläche des Targets durch ein Fenster gerichtet ist, gezündet wird. Aufgabe der Erfindung ist es, eine technische Lösung vorzugeben, mit der eine unerwünschte Beschichtung im Fensterbereich einer Vakuumkammer deutlich reduziert werden kann. Erfindungsgemäß ist hierfür zwischen Fenster und mindestens einem Target ein Permanent- oder Elektromagnet seitlich neben, ober- oder unterhalb der optischen Achse des Laserstrahls angeordnet und der Laserstrahl durch ein vom Permanent- oder Elektromagnet ausgebildetes Magnetfeld geführt.
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