| 摘要 |
Изобретение относится к производству поликристаллического кремния. Образующуюся при получении трихлорсила из технического кремния и хлористого водорода отходящую парогазовую смесь с заявленньми составом, плотностью и приведенным молекулярным весом подвергают сухой и мокрой пылеочистке, трихлорсилан очищают до полупроводниковой степени чистоты и смешивают с водородом, полученную смесь делят на потоки и вводят их в реактор на равном расстоянии друг от друга при поддержании расхода, температуры и давления, обеспечивающих получение второй отходящей парогазовой смеси с заявленными параметрами. Трихлорсилан направляют на восстановление, тетрахлорид кремния - на гидрирование при поддержании расхода, температуры и давления, обеспечивающих получение третьей отходящей парогазовой смеси с заявленными параметрами. Отходящие парогазовые смеси перед конденсацией охлаждают с установленной скоростью, из избыточного хлористого водорода получают соляную кислоту, которой отмывают непрореагироваший кремний перед его возвращением в процесс. Очистку отходящих газов проводят раствором карбонатов натрия или кальция, а затем раствором гидроксида натрия. Из промывных и отработанных растворов получают твердые кольматанты, оборотную воду и концентрированные растворы хлористого натрия, направляемого на электролиз, или хлористого кальция, используемого в качестве тампонажного раствора. Поликристаллический кремний подвергают дроблению в инертной атмосфере с отмывкой водой и получением основного продукта в виде кусков и дополнительного - в виде агломерированной пыли. Упаривание проводят до заявленной концентраци |
