Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit Auffüllschicht und Maskenschicht

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei eine Trenchstruktur im wesentlichen vollständig von einer ersten Auffüllschicht aufgefüllt und eine erste Maskenschicht auf der ersten Auffüllschicht aufgetragen wird, auf der wiederum eine zweite Auffüllschicht und eine zweite Maskenschicht aufgetragen werden. Weiterhin wird ein mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, wobei die erste Auffüllschicht die Trenchstruktur des mikromechanischen Bauelements auffüllt und gleichzeitig eine bewegliche Sensorstruktur bildet.