半导体器件光学检测装置及检测方法

摘要

本发明揭示了一种半导体器件光学检测装置，包括：光学显微镜，对半导体器件进行光学检测；光源，照射待检测的半导体器件，其中，光源产生不同颜色的光，用于宏观检测不同的半导体器件。本发明还提供一种半导体器件光学检测方法，包括：提供一产生不同颜色的光的光源，并照射半导体器件，其中，不同颜色的光用于检测半导体器件的不同部分；用光学显微镜对半导体器件进行光学检测。采用本发明的技术方案，能够在一个光学检测装置中提供多种颜色的光，以满足不同的应用需求，本发明的技术方案在各色光之间的切换十分方便迅速，并且只需要采用一个光学检测装置，成本较低。

主权项

1.一种半导体器件光学检测装置，其特征在于，包括：光学显微镜，对半导体器件进行光学检测；光源，照射所述待检测的半导体器件，其中，所述光源产生不同颜色的光，用于宏观检测不同的半导体器件。