| 发明名称 | 碲化镉材料表面氧化膜层的处理工艺 | ||
| 摘要 | 碲化镉材料表面氧化膜层的处理工艺，是将碲化镉材料先用丙酮、无水乙醇、去离子水清洗后，经溴和无水乙醇溶液腐蚀，再用乳酸和乙二醇溶液进行表面处理，可获得氧化物极少甚至无氧化物的碲化镉表面。可大大提高碲化镉光伏探测器列阵的光电性能、成品率和可靠性，整个工艺过程简单，操作方便，重复性好，实用性强，对人体基本无伤害。可广泛用于碲化镉材料表面的制备和碲化镉光电器件的制造。 | ||
| 申请公布号 | CN101295748A | 申请公布日期 | 2008.10.29 |
| 申请号 | CN200710040285.1 | 申请日期 | 2007.04.29 |
| 申请人 | 上海理工大学 | 发明人 | 李毅;胡双双;蒋群杰;武斌 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01);H01L21/46(2006.01);H01L21/465(2006.01) | 主分类号 | H01L31/18(2006.01) |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 | 代理人 | 宁芝华 |
| 主权项 | 1.碲化镉材料表面氧化膜层的处理工艺，包括对碲化镉材料进行清洗处理；腐蚀处理和表面处理；其特征在于：A)先对碲化镉材料进行清洗处理：a)在丙酮溶液中浸泡2～3分钟；b)在无水乙醇中浸泡1～2分钟；c)在室温下的去离子水中清洗1～2分钟；d)用高纯氮气吹干；B)再对碲化镉材料进行腐蚀处理：a)将吹干的碲化镉材料用溴和无水乙醇溶液腐蚀，溴和无水乙醇溶液的体积比为(0.005～0.1)∶1，腐蚀时间为10～60秒，并在腐蚀过程中不停地摇晃碲化镉材料；b)在无水乙醇中清洗1～2分钟；C)最后对碲化镉材料进行表面处理：a)将碲化镉材料浸入乳酸和乙二醇溶液，乳酸和乙二醇溶液的体积比为(0.03～0.1)∶1，在溶液中浸泡1～2分钟；b)随后将碲化镉材料用无水乙醇清洗1～2分钟；c)再用去离子水清洗1～2分钟；d)最后用高纯氮气吹干。 | ||
| 地址 | 200093上海市杨浦区军工路516号 | ||