一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器

摘要

本发明公开一种基于微电子机械的微结构谐振式传感器，由两个微扭摆谐振器并列放置，微扭摆谐振器上有检测用敏感层膜，另一微扭摆谐振器上有差分检测的非敏感层膜。每个微扭摆谐振器由摆轴和分布在摆轴两边的摆片组成，摆片上布置电磁激励线圈和拾振线圈。注入电流的激励线圈在外加磁场洛伦兹力作用下，产生绕摆轴的扭矩，驱使扭摆的振动，振动信号通过拾振线圈切割磁力线产生的感生电动势拾取，并反馈到激励线圈，形成闭环自激，输出谐振频率。本发明工作于扭转模态，提高了品质因素，差动输出抑制了由于温度等外界因素效应造成的误差，工艺简单，检测灵敏度高，可作为生化传感器用于检测微量生化分子，尤其适用于液相条件的生化检测和传感。

主权项

1、一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器，其特征在于，包括：在衬底(3)上有：一第一微扭摆谐振器(1)，用于输出可变的第一谐振频率，及一第二微扭摆谐振器(2)，用于输出固定的第二谐振频率；一框架(4)，用于将第一微扭摆谐振器(1)和第二微扭摆谐振器(2)相连接。