| 发明名称 | 用于离子注入装置束流线内部部件的石墨部件 | ||
| 摘要 | 一种在高电流低能量型离子注入装置中用于离子注入装置束流线(beam line)内部部件的石墨部件，该石墨部件能够显著减少结合到晶片表面中的颗粒的数量。还提供了用于离子注入装置束流线内部部件的石墨部件，该部件具有1.80Mg/m<SUP>3</SUP>或更高的堆积密度和9.5μΩ·m或更低的电阻。优选地，在石墨部件的自然断裂(natural fracture)表面的拉曼光谱中用1370cm<SUP>－1</SUP>处的D谱带强度除以1570cm<SUP>－1</SUP>处的G谱带强度得到的R值为0.20或更低。 | ||
| 申请公布号 | CN101296881A | 申请公布日期 | 2008.10.29 |
| 申请号 | CN200680040106.8 | 申请日期 | 2006.10.12 |
| 申请人 | 东洋炭素株式会社 | 发明人 | 齐藤清;横山文昭;铃木均;安藤温子;东城哲朗;筱原诚治 |
| 分类号 | C04B35/52(2006.01);C01B31/04(2006.01);H01J37/317(2006.01) | 主分类号 | C04B35/52(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 温宏艳;孙秀武 |
| 主权项 | 1.用于离子注入装置束流线内部部件的石墨部件，其具有不小于1.80Mg/m3 的堆积密度和不大于9.5μΩ·m的电阻率。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||