| 发明名称 | 射频功率传递系统 | ||
| 摘要 | 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。 | ||
| 申请公布号 | CN101297480A | 申请公布日期 | 2008.10.29 |
| 申请号 | CN200680040216.4 | 申请日期 | 2006.10.31 |
| 申请人 | MKS仪器股份有限公司 | 发明人 | S·P·纳加拉卡迪;M·基西内夫斯基;A·沙基;T·E·卡尔外迪斯;W·S·米奇尼;D·古德曼;W·M·霍尔比;J·A·史密斯 |
| 分类号 | H03H7/40(2006.01) | 主分类号 | H03H7/40(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 钱慰民 |
| 主权项 | 1.一种用于向动态负载传递功率的系统，包括：电源，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器，用于将DC功率转换成RF功率；传感器，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统，用于修改功率放大器的阻抗以至少基本上匹配于动态负载的阻抗；以及控制器，用于控制所述电可控阻抗匹配系统。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||