发明名称 LASER PATTERN GENERATOR
摘要
申请公布号 EP1078506(B1) 申请公布日期 2008.10.29
申请号 EP20000919468 申请日期 2000.03.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ALLEN, PAUL, C.;BOHAN, MICHAEL, J.;GREEN, MORRIS, H.;HAMAKER, HENRY, CHRISTOPHER
分类号 B41J2/44;H04N1/053;G02B26/10;G02F1/33;G03F7/20;H01L21/027;H04N1/113 主分类号 B41J2/44
代理机构 代理人
主权项
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