发明名称 |
高填充率硅空间光调制器 |
摘要 |
一种用于显示应用的光偏转器件。所述光偏转器件包括具有上表面区域的半导体基底(105)以及一个或多个电极器件(112),电极器件被设置以覆在上表面区域之上。该光偏转器件还包括铰链器件(214),铰链器件包括硅材料并连接至所述上表面区域。该光偏转器件还包括:间隙,其界定在上表面区域与铰链器件(214)之间;以及镜子结构,其包括连接至铰链器件(214)的柱部分(208),以及连接至柱部分(208)并覆在铰链器件(214)之上的镜板部分(212)。 |
申请公布号 |
CN101297227A |
申请公布日期 |
2008.10.29 |
申请号 |
CN200680040202.2 |
申请日期 |
2006.10.26 |
申请人 |
明锐有限公司 |
发明人 |
杨晓;王宇翔;乌克·吉;贾斯廷·艾伦·佩恩;王叶;威廉·斯潘塞·沃利三世;陈东敏;霍华德·沃 |
分类号 |
G02B26/00(2006.01) |
主分类号 |
G02B26/00(2006.01) |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
柳春雷 |
主权项 |
1.一种用于显示应用的光偏转器件,所述光偏转器件包括:半导体基底,其包括上表面区域;一个或多个电极器件,其被设置以覆在所述上表面区域之上;铰链器件,其包括硅材料并耦接至所述上表面区域;间隙,其界定在所述上表面区域与所述铰链器件之间;以及镜子结构,其包括:耦接至所述铰链器件的柱部分,以及耦接至所述柱部分并覆在所述铰链器件之上的镜板部分。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |