| 发明名称 | 一种含Nb复合金属氧化物介电陶瓷薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种含Nb复合金属氧化物介电陶瓷薄膜及其制备方法，该介电陶瓷薄膜的复合金属氧化物具有如下通式：Ca[Ti<SUB>x</SUB>(Mg<SUB>1/3</SUB>Nb<SUB>2/3</SUB>)<SUB>(1－x)</SUB>]O<SUB>3</SUB>，0≤x＜1。制备方法采用液相旋涂技术，其关键的前驱体溶液是按如下方法获得的：Nb<SUB>2</SUB>O<SUB>5</SUB>与热碱反应后水解，所得的凝胶与柠檬酸反应制得Nb－柠檬酸溶液，将其与其他金属－柠檬酸溶液聚合浓缩酯化获得前驱体液。将前驱体溶液旋涂于一定转速的洁净基板上，经120℃干燥和400～500℃预处理后按需要重复旋涂及处理工艺，最后在500～900℃热处理0.5～1小时制备成膜。本发明可根据介电薄膜成分，任意配比用于薄膜形成用前驱体液，解决了此类含Nb元素介电薄膜液相形成液原料昂贵的问题，实现了薄膜组分的简单精确控制。 | ||
| 申请公布号 | CN101293770A | 申请公布日期 | 2008.10.29 |
| 申请号 | CN200810048101.0 | 申请日期 | 2008.06.20 |
| 申请人 | 武汉理工大学 | 发明人 | 陈文;周静;朱杰;沈杰;雷琼;朱泉峣;孙华君;徐庆 |
| 分类号 | C04B35/495(2006.01);C04B35/465(2006.01);H01L41/187(2006.01) | 主分类号 | C04B35/495(2006.01) |
| 代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人 | 张安国 |
| 主权项 | 1、一种含Nb复合金属氧化物介电陶瓷薄膜，其特征是，所述的含Nb复合金属氧化物具有如下通式：Ca[Tix(Mg1/3Nb2/3)(1-x)]O3，其中0≤x＜1。 | ||
| 地址 | 430070湖北省武汉市洪山区珞狮路122号 | ||