脉动减轻装置和检查装置

摘要

在专利文献1所述的脉动减轻装置的情况下，将主腔室配置在辅助腔室的高位置，在主腔室内溶解空气产生的增量的液体溢流到辅助腔室，通过辅助腔室内的空气置换该液量，使得例如在半导体晶片等的被处理体的检查装置等在载置体上冷却被处理体的情况下，在载置体内循环的制冷剂在主腔室内容易气化，液体的气化容量超过空气溶解到液体中的容量时，主腔室内的气体压力上升，有损于脉动减轻功能。本发明的脉动减轻装置(10)具备：留有空隙部贮存制冷剂的第一罐体(15A)、在高于其的位置配置的状态下连接在第一罐体(15A)上且向第一罐体(15A)内补充制冷剂的补充罐体(15B)和连接第一罐体(15A)与补充罐体(15B)的空隙部的抽气配管(15C)。

主权项

1.一种脉动减轻装置，在具备使液体在基台内循环的泵和贮存通过该泵循环的液体的罐体的装置中使用，其将在所述罐体内的液面上的空隙部的气体作为缓冲体，减轻所述泵引起的所述液体的脉动，其特征在于，将贮存所述液体的补充罐体以所述补充罐体的液面处于高于所述罐体内的液面的位置的方式配置并与所述罐体连接，同时，通过抽气配管连接所述罐体和所述补充罐体的空隙部，在所述罐体内的液体减少，所述罐体内的空隙部和所述补充罐体内的空隙部通过所述抽气配管连通时，通过所述抽气配管将所述罐体内的气体抽取到所述补充罐体内的空隙部，同时，将所述补充罐体内的液体补充到所述罐体内。