发明名称 |
真空泵 |
摘要 |
一种真空泵(100),包括第一组(106)涡轮分子站、分子牵引站(112)、第一入口(120),通过第一入口流体可朝向泵出口(116)通过第一组(106)站和分子牵引站(112)、第二和第三组(108、110)涡轮分子站,它们位于第一组(106)和分子牵引站(112)之间、第二入口(122),第二和第三组(108、110)设置为使得通过第二入口(122)进入该泵的流体被分离成两股流,每股流分别通过第二和第三组(108、110)中相应的一个,以及导管装置(126),用于朝向出口(116)输送流体通过第一组(106)以及第二和第三组(108、110)中的一个。 |
申请公布号 |
CN100429406C |
申请公布日期 |
2008.10.29 |
申请号 |
CN200480028086.3 |
申请日期 |
2004.09.23 |
申请人 |
爱德华兹有限公司 |
发明人 |
I·D·斯通斯 |
分类号 |
F04D19/04(2006.01);F04B37/14(2006.01) |
主分类号 |
F04D19/04(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
杨松龄 |
主权项 |
1.一种真空泵,包括:第一抽吸部分、第一泵入口,流体可通过所述第一泵入口进入所述泵并且朝向泵出口通过第一抽吸部分;第二和第三抽吸部分、第二泵入口,流体可通过所述第二泵入口进入所述泵,第二和第三抽吸部分设置为使得通过第二入口进入所述泵的流体被分离成朝向泵出口通过第二抽吸部分的第一股流以及通过第三抽吸部分远离泵出口的第二股流;用于朝向出口输送流体通过第三抽吸部分的装置;以及至少一个另外的抽吸部分,其位于第一、第二和第三抽吸部分下游以用于从第一、第二和第三抽吸部分接收流体并且朝向出口输出流体。 |
地址 |
英国西萨塞克斯郡 |