| 发明名称 |
一种掩膜板 |
| 摘要 |
本发明公开了一种掩膜板，其仅包括掩膜本体，掩膜本体孔洞边缘设有倒角，其厚度为1mm－15mm，倒角与掩膜板垂直方向所呈夹角为10°－45°。本发明为克服超薄掩膜与厚边框结合的现有技术的缺点，针对超薄掩膜孔洞易变形，清洗时两者易脱开的缺陷，采用一体的厚掩膜板；另针对厚掩膜板蒸镀精度低的缺陷，巧妙在掩膜板孔洞侧壁上做出倒角，使得蒸镀到基板上的材料的有效面积增大，近似实现超薄掩膜蒸镀精度高的功能。 |
| 申请公布号 |
CN101295128A |
申请公布日期 |
2008.10.29 |
| 申请号 |
CN200710022107.6 |
申请日期 |
2007.04.28 |
| 申请人 |
昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
发明人 |
邱勇;张祝新;徐粤 |
| 分类号 |
G03F1/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F1/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种掩膜板，仅包括掩膜本体，其特征在于，所述掩膜本体孔洞边缘设有倒角。 |
| 地址 |
215300江苏省昆山市玉山镇城北北门路757号 |
