| 发明名称 | 光刻胶组合物和使用其制造薄膜晶体管基底的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光刻胶组合物和使用其制造薄膜晶体管基底的方法。在一实例中，光刻胶组合物包括约1到约70重量份的含有由右面化学式1代表的重复单元的第一粘合剂树脂、约1到约70重量份的含有由右面化学式2代表的重复单元的第二粘合剂树脂、约0.5到约10重量份的光致产酸剂、约1到约20重量份的交联剂和约10到约200重量份的溶剂，在式中R<SUB>1</SUB>和R<SUB>2</SUB>独立地代表具有1到5个碳原子的烷基，n和m独立地代表自然数。该光刻胶组合物可改善光刻胶图案的耐热性和粘附能力。 | ||
| 申请公布号 | CN101295135A | 申请公布日期 | 2008.10.29 |
| 申请号 | CN200810127707.3 | 申请日期 | 2008.04.14 |
| 申请人 | 三星电子株式会社;东进瑟弥侃株式会社 | 发明人 | 朴廷敏;郑斗喜;李羲国;尹赫敏;丘冀赫 |
| 分类号 | G03F7/021(2006.01);G03F7/004(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/84(2006.01) | 主分类号 | G03F7/021(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 宋莉 |
| 主权项 | 1.一种光刻胶组合物，包括1到70重量份的包括由下式表示的重复单元的第一粘合剂树脂；1到70重量份的包括由下式表示的重复单元的第二粘合剂树脂；其中R1和R2独立地代表具有1到5个碳原子的烷基，n和m独立地代表自然数；0.5到10重量份的光致产酸剂；1到20重量份的交联剂；和10到200重量份的溶剂。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||