发明名称 Process and apparatus for plasma coating of workpieces with spectral evaluation of process parameters
摘要
申请公布号 EP1630848(B1) 申请公布日期 2008.10.29
申请号 EP20050018452 申请日期 2005.08.25
申请人 SCHOTT AG 发明人 BEHLE, STEPHAN, DR.;LUETTRINGHAUS-HENKEL, ANDREAS;EIMANN, PETER;KLEIN, JUERGEN, DR.
分类号 H01J37/32;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/52 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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