表面形状测定装置

摘要

本发明系一种表面形状测定装置，其课题为题供例如针对在FPD用玻璃基板等，以非接触，非破坏，高精确地以高速测定表面形状，并可检测弯曲等之表面形状测定装置，而解决手段为具备：为了载置被测定构件1之载置台2，和为了以非接触测定被测定构件1之表面变位的复数之气体扫描器3，和为了使气体扫描器3移动至特定的测定位置之驱动控制部5，和对应于各复数之气体扫描器3，为了将在测定位置之测定资料各自进行演算处理之第1资料处理部7，和为了合成处理以各第1资料处理部7所演算处理之测定资料的第2资料处理部8。