| 摘要 |
本发明的目的在于，于TFT阵列检查装置中，使主腔体（MC）小型化，并且提高玻璃基板在Z方向上的移动速度，从而获得良好的处理量。本发明的TFT阵列检查装置具备玻璃基板用平台2、平台驱动机构、及设置于主腔体1上方的电子枪单元3。玻璃基板检查用平台2设于主腔体1内，且将平台驱动机构所具备的Z平台驱动机构7中的至少驱动马达7a设置于主腔体1外。Z平台驱动机构是由设置于主腔体1外部的Z轴驱动用马达7a而驱动，使设置于主腔体1内的Z平台2d在Z方向上移动。藉由将驱动马达设置于主腔体的外部，可使用具有较大输出扭矩的驱动马达，从而可提高Z平台的驱动速度，且可提高玻璃基板检查的处理量。 |
