ＴＦＴ阵列检查装置

摘要

本发明的目的在于，在TFT阵列检查装置中使玻璃基板搬运用托盘薄型化。本发明的TFT阵列检查装置，是在使机械手的臂部（搬运臂11）的上面位于较玻璃基板搬运用托盘1A的上面更上方的位置上，使玻璃基板3于搬运臂11与玻璃基板搬运用托盘1A之间进行移动，从而，无需先前的玻璃基板搬运用托盘所必需的用于避开机械手的臂部的槽，因为无需槽而使厚度较薄，从而实现轻量化。