ＴＦＴ阵列检查装置

摘要

本发明的目的在于，对于TFT阵列检查装置，使主腔体（MC）小型化。本发明的TFT阵列检查装置中，于主腔体1的上方具有电子枪单元3，并且于主腔体1内具备玻璃基板用平台2，于该玻璃基板用平台2中，在电子枪单元3的下方位置设置可在Z方向上驱动的Z平台2d。于主腔体1内，使玻璃基板10可在Z方向上移动，从而，不论电子枪单元3设置于主腔体1内的任何位置，均可在不会与电子枪单元3相互干扰的情况下使玻璃基板10与探测框6接触。