| 摘要 |
〔课题〕本发明系提供一种可不让有关相邻的配线图案间疑似短路的疑似短路部烧损，进行检查的基板检查装置。〔解决手段〕一种使被检查基板（11）上的检查点（12a、12b）间产生电位差，自检查点取出检查用的讯号，藉此来检查检查点间的配线图案（13）的电性特性的基板检查装置，其具备：直接或间接导通检查点的复数个探针（2a、2b）、和经由探针使检查点间产生电位差的输出部（3）、和赋予电位差时经由探针自检查点检查出讯号的检查部（4），输出部，系使检查点间产生相邻的配线图案间疑似短路的疑似短路部导通，且不会因释放到该疑似短路部的电流烧损之程度的电位差。 |
