微机电系统的感应构件及麦克风元件

摘要

一种微机电系统的感应构件，包含：一基材、一薄膜及复数支撑体。该基材形成有一开孔，该薄膜位于该开孔处并与该基材相间隔，该等支撑体围绕该薄膜设置，且连接于该薄膜与该基材之间用以支撑该薄膜。各该支撑体具有一凹面朝向该薄膜的曲弧段、一由该曲弧段的中间区域凸伸至该薄膜的连接段，及二分别由该曲弧段两端弯折延伸至该基材的固持段。该支撑体可有效吸收残余应力对薄膜的影响，且在出平面方向上具有良好的支撑刚性，而能增加该感应构件的灵敏度。