曝光装置及其控制方法、及装置的制造方法

摘要

本文提供一种能以简单配置有效率地更换光罩的曝光装置。在更换光罩时，一　（3）移动至一预定的更换作业位置处。在此时，一第二磁铁（9）退缩至一个由一第一磁铁（8）与该第二磁铁（9）所产生之推斥力量不会作用于该　（3）上的位置处。在光罩更换之后，该第二磁铁（9）即回复至一个一推斥力量产生单元可施加一推斥力量至该　（3）上的位置处。