薄板状材料搬运装置及方法

摘要

[课题]将超大型尺寸的玻璃基板等的薄板状材料藉由空气载置台进行搬运时，玻璃基板不会弯曲。[解决手段]薄板状材料搬运装置10，是使用被供给至朝通道线P的宽度方向配列的空气载置台组件14A~14D上的空气的浮上力进行搬运，将各空气载置台组件中的正压发生装置24A~24D的空气供给量，预先藉由供给量控制装置23A~23D将玻璃基板12的从通道线P的高度调整成为均一。