发明名称 Ultraschallreinigungsvorrichtung zur Reinigung des Randbereiches eines Werkstückes
摘要
申请公布号 DE602006002564(D1) 申请公布日期 2008.10.16
申请号 DE200660002564T 申请日期 2006.07.11
申请人 HONDA ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 HONDA, YOSUKE;ASAYAMA, YUICHI;MAITA, YUICHI;HIKITA, TOMOMI;MURAMATSU, YOSHIKAZU;KONDO, RYOJI;YAMAMORI, HARUO;FUJIWARA, NAOYUKI
分类号 B08B3/12;H01L21/30 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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