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发明名称
Ultraschallreinigungsvorrichtung zur Reinigung des Randbereiches eines Werkstückes
摘要
申请公布号
DE602006002564(D1)
申请公布日期
2008.10.16
申请号
DE200660002564T
申请日期
2006.07.11
申请人
HONDA ELECTRONICS CO. LTD.
发明人
HONDA, YOSUKE;ASAYAMA, YUICHI;MAITA, YUICHI;HIKITA, TOMOMI;MURAMATSU, YOSHIKAZU;KONDO, RYOJI;YAMAMORI, HARUO;FUJIWARA, NAOYUKI
分类号
B08B3/12;H01L21/30
主分类号
B08B3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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