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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transportieren und Halten von berührungsempfindlichen Bauteilen oder Material und weist nachfolgende Merkmale auf: Wenigstens eine schwingungsfähige plattenförmige Aufnahme 2 zur Aufnahme des zu transportierenden oder zu haltenden Gegenstandes, an der wenigstens ein Schwingungserzeuger 3 befestigt ist, und wenigstens zwei Abstützelemente 4, wobei der Schwingungserzeuger 3 an einer vorbestimmten Stelle der plattenförmigen Aufnahme 2 angeordnet ist, um die plattenförmige Aufnahme 2 in Biegeschwingungen zu versetzen und die Abstützelemente 4 an einer Stelle angeordnet sind, an dem die Amplitude der Biegeschwingung wenigstens 50% kleiner ist als die Maximalamplitude und der Schwingungserzeuger 3 mit einer Frequenz betrieben wird, die die ersetzt, die im Zusammenwirken mit der der Aufnahme 2 gegenüberliegenden Seite des Bauteils 1 einen Gasfilm aus dem Gas, welches die Vorrichtung umgibt, erzeugt, durch den ein vollständiges Aufliegen des Bauteils 1 auf der Aufnahme 2 verhindert ist.
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