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发明名称 PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPS5240084(A) 申请公布日期 1977.03.28
申请号 JP19750115832 申请日期 1975.09.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YORIKANE MASAHARU
分类号 H01L21/3205;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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