摘要 |
Ein Lecksensor (1) zur Überwachung des Vakuums in einer Vakuumschaltröhre verfügt über eine verformbare Trennwand, insbesondere in Gestalt einer Membran oder eines Faltenbalges (13). Die Trennwand steht über eine Messöffnung (9) mit der Vakuumkammer einer Vakuumschaltröhre in Verbindung. Beim Belüften der Vakuumkammer der Vakuumschaltröhre erfolgt eine Verformung der Membran oder des Faltenbalges (13), die mit einer mechanischen Anzeigevorrichtung (25), einer optischen Einrichtung oder einer elektrooptischen Einrichtung (1) erfassbar ist.
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