| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Vermessung von Substraten, umfassend einen Träger (2) zur Aufnahme des zu vermessenden Substrates, ein Meßobjektiv, das einen Abschnitt des mit dem Träger (2) gehaltenen Substrates auf einen Detektor abbildet, eine Meßeinrichtung, mit der die Position des Trägers (2) auf einen Detektor (12) abgebildet wird, eine Meßeinrichtung, mit der die Position des Trägers (2) mit dem Substrat relativ zum Meßobjektiv bestimmt wird, wobei die Meßeinrichtung mindestens ein Laserinterferometer (5) zur Positionsbestimmung umfaßt, eine erste Spüleinrichtung, die ein erstes Spülmedium in laminarem Fluß durch die Vorrichtung zur Erzeugung einer gleichbleibenden Meßatmosphäre leitet, sowie eine Stelleinrichtung, mit der der Träger (2) relativ zum Meßobjektiv bewegt werden kann. Bei einer solchen Vorrichtung ist eine zweite Spüleinrichtung vorgesehen, die ein zweites Spülmedium durch den Bereich der Meßeinrichtung leitet, in dem sich das mindestens eine Laserinterferometer (5) befindet.
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