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Sistema de revestimiento, especialmente para revestir discos de silicona, particularmente para CDV realzado con plasma, en la fabricación de celdas solares. Un sistema de revestimiento de objeto plano tiene un pistón (14, 16) para mover un objeto dentro de un cilindro (10, 12) a una región donde el objeto se transfiere a un aparato de revestimiento (40) o es retirado. Un sistema de revestimiento de objeto plano tiene un pistón (14, 16) el cual tiene un receptor de objeto y el cual desliza en un cilindro de extremo abierto (10, 12) con regiones estanqueizadas primaria y secundaria. La región primaria se encuentra en el extremo de cilindro y tiene una longitud mayor que la anchura del receptor, mientras que la región secundaria se hace estanca contra la presión atmosférica independientemente de la posición del pistón. Un dispositivo de transferencia (86) pasa a través de una abertura de cilindro en la región secundaria de una región adyacente y a través del receptor de pistón, cuando está alineado con la abertura, para transferir el objeto a un aparato de revestimiento (40) o para retirar el objeto. También se incluye una reivindicación independiente para el revestimiento continuo de objetos planos preferentemente por CVD (PECVD) mejorado de plasma usando el aparato de arriba.
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