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发明名称 A method of fabricating a thin film
摘要
申请公布号 KR100864065(B1) 申请公布日期 2008.10.16
申请号 KR20070010916 申请日期 2007.02.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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