Verfahren zum Bestimmen der Fokuslage von mindestens zwei Kanten von Strukturen auf einem Substrat

摘要

Es ist ein Verfahren zum Bestimmen der Fokuslage von mindestens zwei Kanten von Strukturen (31) auf einem Substrat (30) offenbart. Während der Bewegung eines Messobjektivs (21) in Z-Koordinatenrichtung wird eine Vielzahl von Bildern der mindestens einen Struktur (31) mit mindestens einem Messfenster (45) eines Detektors aufgenommen. Für jedes Bild wird ein Intensitätsprofil der Struktur (31) ermittelt.