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发明名称 MIKROELEKTROMECHANISCHE SILIZIUMCARBIDBAUTEILE MIT ELEKTRONISCHEN SCHALTUNGEN
摘要
申请公布号 DE60323344(D1) 申请公布日期 2008.10.16
申请号 DE20036023344 申请日期 2003.03.07
申请人 CORNELL RESEARCH FOUNDATION INC. 发明人 KORNEGAY, KEVIN;ATWELL, ANDREW RYAN;BALSEANU, MIHAELA;DUSTER, JON;HAILU, ESKINDER;LI, CE
分类号 B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00;H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/49 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
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