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发明名称 Verfahren zur Ausbildung eines ferroelektrischen Kondensators
摘要
申请公布号 DE112004000665(B4) 申请公布日期 2008.10.16
申请号 DE200411000665T 申请日期 2004.03.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 ZHUANG, HAOREN;EGGER, ULRICH;TOMIOKA, KAZUHIRO
分类号 H01L21/8239;H01L21/02;H01L21/3213;H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人
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