汽化器和半导体处理系统

摘要

本发明提供一种汽化器和半导体处理系统，其是用于从液体原料得到处理气体的汽化器，包括在喷注器的排出口下侧配置在容器内的具有中空的内部空间的下部热交换体。在排出口和下部热交换体之间规定雾状液体原料的助起动空间，在容器的内侧面和下部热交换体之间规定与助起动空间连接的环状空间。内部加热器配置在下部热交换体的内部空间中。内部加热器作成利用陶瓷密封编织有多个碳纤维束的碳线的结构。内部加热器加热通过环状空间的雾状液体原料生成处理气体。

主权项

1.一种用于从液体原料得到处理气体的汽化器，其特征在于，包括：规定所述汽化器的处理空间的容器；具有使所述液体原料呈雾状向下方喷出至所述容器内的排出口的喷注器；在所述排出口的下侧配置在所述容器内的具有中空的内部空间的下部热交换体，并且在所述排出口和所述下部热交换体之间规定所述雾状液体原料的助起动空间，在所述容器的内侧面和所述下部热交换体之间，规定与所述助起动空间连接的环状空间；配置在所述下部热交换体的所述内部空间中的内部加热器，该内部加热器作成为利用陶瓷密封编织有多根碳纤维束的碳线的结构，所述内部加热器加热通过所述环状空间的所述雾状液体原料生成所述处理气体；以从所述环状空间导出所述处理气体的方式与所述容器连接的气体导出路；和当停止来自所述喷注器的所述液体原料的排出时，减少或停止向所述内部加热器的电力供给的控制部。