真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟

摘要

本实用新型真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟，属于真空镀膜领域中应用的加热器具。它是针对克服化合物蒸发材料在蒸发前、后的化学元素配比发生变化而改制的。该加热蒸发舟是由薄的耐高温金属片制成的、带有通气孔的加热片，加热片的中间部分均匀分布小孔，第二部分是带有挂槽的挂盒，在挂盒内部配备有耐高温导热差的氧化铝陶瓷内衬“坩埚”，用挂槽将挂盒挂在加热片上即可。本实用新型的优点就是结构简单、使用方便。能够较好地解决化合物蒸发材料其化学配比在蒸发后和蒸发前存在差别大的问题，使原化合物蒸发材料在蒸发成膜后达到预期的效果。

主权项

1、一种真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟，包括加热片和挂盒，其特征在于加热片(1)的中间部位加工有通气孔(2)，挂盒(3)两侧带有挂槽(4)，其连接方式是将加热片(1)沿挂盒(3)上的挂槽(4)插入即可。