| 发明名称 | 防滑片污染装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种应用于工艺腔体的防滑片污染装置，其包含有一缓冲承接组件；以及数个用以将该缓冲承接组件定位于一欲装设该防滑片污染装置的机台内的定位件。其利用一种不会造成腔体污染、安装容易、便于维修、成本低的防滑片污染装置，来装设于机械手臂取芯片至工艺平台的路径上，以承接由机械手臂夹持滑落或自芯片轮流碟上滑落的芯片。 | ||
| 申请公布号 | CN101286471A | 申请公布日期 | 2008.10.15 |
| 申请号 | CN200710039484.0 | 申请日期 | 2007.04.13 |
| 申请人 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 梁金秋;汪政明;刘勰;熊涛 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01);H01L21/265(2006.01);H01J37/317(2006.01);C23C14/48(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 | 代理人 | 余明伟 |
| 主权项 | 1、 一种防滑片污染装置，其特征在于：包含有一缓冲承接组件；以及数个用以将该缓冲承接组件定位于一欲装设该防滑片污染装置的机台内的定位件。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号 | ||