| 发明名称 |
LIQUIDDPHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54105468(A) |
申请公布日期 |
1979.08.18 |
| 申请号 |
JP19780012007 |
申请日期 |
1978.02.07 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
IIZUKA YOSHIO;FURUKAWA TSUNEO |
| 分类号 |
H01J33/00;C30B19/00;C30B29/40;H01L21/208 |
主分类号 |
H01J33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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