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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR PROCESSING OR TREATING SILICON MATERIAL
摘要
申请公布号
EP1979271(A2)
申请公布日期
2008.10.15
申请号
EP20070711375
申请日期
2007.01.23
申请人
GEBR. SCHMID GMBH + CO.
发明人
KAPPLER, HEINZ
分类号
C01B33/02
主分类号
C01B33/02
代理机构
代理人
主权项
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